星空 体育app:朗姆研讨请求使用根据TCR元件的加热器渐进式加热衬底的部件专利可根据平均温度与部分温度操控电阻式器

  金融界2025年7月29日音讯，国家知识产权局信息数据显现，朗姆研讨公司请求一项名为“使用根据TCR元件的加热器渐进式加热衬底的部件”的专利，公开号CN120376463A，请求日期为2019年08月。

  专利摘要显现，一种用于衬底处理体系的加热部件的加热器操控办理体系包含N个加热器区域，其间N为大于零的整数。所述N个加热器区域中的每一个加热所述衬底处理体系的部件，而且包含电阻式加热器以及温度传感器，该温度传感器用于感测所述N个加热器区域中的对应的加热器区域的部分温度。操控器被装备成：根据所述N个加热器区域中的每一个中的所述电阻式加热器的电阻，确认所述N个加热器区域中的每一个的平均温度。所述操控器根据所述N个加热器区域中的每一个的所述平均温度与所述部分温度操控所述电阻式加热器。

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